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智能型HMDS蒸鍍機(jī)臺(tái)是一種 具有預(yù)處理性能更好，處理更加均勻，效率高，更加節(jié)省藥液特性的智能型烘箱。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。

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HMDS蒸鍍真空烤箱，芯片HMDS蒸鍍烤箱HMDS的HMDS蒸鍍就是利用惰性氣體（例如氮?dú)猓е鳫MDS的蒸汽通過芯片表面,而在晶面上形成一層薄膜

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